半導體/科技廠房

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半導體科技廠房防止電磁波干擾(EMI)的主要方法包括以下幾個方面:

1. 屏蔽(Shielding): 廠房內會使用特殊的屏蔽材料,如銅、鋁或鐵來包覆電子設備和敏感區域,這些材料可以反射或吸收電磁波,防止外部的電磁波進入關鍵設備區域,並避免內部設備發出的電磁波干擾其他設備。

2. 接地(Grounding): 透過將設備和建築結構適當接地,可以有效地將電磁波干擾導入地面,減少其對設備的影響。良好的接地系統是防止電磁干擾的重要措施之一。

3. 使用濾波器(Filters): 在電源線和信號線上安裝濾波器,可以阻止高頻電磁波進入敏感設備,從而減少EMI的影響。

4. 隔離區域(Isolated Zones): 將不同功能的設備或區域進行物理隔離,減少彼此間的電磁干擾。例如,將高功率設備與精密測量設備分開。

5. EMI管理設計(EMI Management Design): 在設計階段,優化電路板的佈局、選擇低噪音元件、使用適當的走線技術等,這些都可以降低電磁干擾的產生和傳播。

6. 防靜電措施(ESD Protection): 半導體廠房通常還會採取防靜電措施,如使用防靜電地板、防靜電服裝和工具,這些也有助於減少電磁波的產生。

ASML半導體廠

這些方法共同作用,可以有效地防止電磁波對半導體製程和設備的干擾,確保產品的質量和生產效率。

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